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產品資料

桌面型RTP快速升溫退火爐

  • 如果您對該產品感興趣的話,可以
  • 產品名稱:桌面型RTP快速升溫退火爐
  • 產品型號:
  • 產品展商:其它品牌
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簡單介紹

●Rapid Thermal Annealing/快速升溫退火爐 ●高溫退火/高溫擴散(Annealing / Diffusion) ●金屬合金/砷化鎵合金(Metal Alloy, GaAs Contact Alloy) ●硼磷矽玻璃回熔(PSG/BPSG Reflow) ●氧化製程(Trench Oxidation) ●閘極介電製程(Gate Dielectric Formation) ●多晶矽退火(Poly–Si Annealing) ●鈦矽化合物/氮化物(Ti Silicide / Salicide / Nitride)

產品描述


設備名稱:快速退火爐



工作原理:快速退火爐是一種材料快速加熱到一定溫度并維持一定時間,然后再快速降溫。

用途:釋放應力;增加材料延展性和韌性;產生特殊顯微結構;應用于半導體材料、器件、新材料等的快速熱處理(如快速退火、合金等工藝)


技術指標:

1. 樣品尺寸:6英寸及以下

2退火溫度: 100-1250℃可調,控溫精度1℃

3. 溫度均勻性:1000℃下,6英寸晶圓≤±1%

4.反應氣氛;真空、N2、O2、空氣

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